liu.seSearch for publications in DiVA
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Selection of metal ion irradiation for controlling Ti1-xAlxN alloy growth via hybrid HIPIMS/magnetron co-sputtering
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Seco Tools AB.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Vise andre og tillknytning
2012 (engelsk)Inngår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 86, nr 8, s. 1036-1040Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

We demonstrate, for the first time, the growth of metastable single-phase NaCl-structure high-AlN-content Ti1-xAlxN alloys (x andlt;= 0.64) which simultaneously possess high hardness and low residual stress. The films are grown using a hybrid approach combining high-power pulsed magnetron (HPPMS/HIPIMS) and dc magnetron sputtering of opposing metal targets. With HIPIMS applied to the Al target, Aln+ ion irradiation (dominated by Aln+) of the growing film results in alloys 0.55 andlt;= x andlt;= 0.60 which exhibit hardness H similar to 30 GPa and low stress sigma = 0.2-0.7 GPa, tensile. In sharp contrast, films with corresponding AlN concentrations grown with HIPIMS applied to the Ti target, giving rise to Tin+ ion irradiation (with a significant Ti2+ component), are two-phase - cubic (Ti,Al)N and hexagonal AlN - with low hardness, H = 18-19 GPa, and high compressive stress ranging up to 2.7 GPa. Annealing alloys grown with HIPIMS applied to the Al target results in age hardening due to spinodal decomposition; the hardness of Ti0.41Al0.59N increases from 30 to 33 GPa following a 900 degrees C anneal.

sted, utgiver, år, opplag, sider
Elsevier , 2012. Vol. 86, nr 8, s. 1036-1040
Emneord [en]
HIPIMS, HPPMS, TiAlN, Ionized PVD
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-77108DOI: 10.1016/j.vacuum.2011.10.027ISI: 000302444700003OAI: oai:DiVA.org:liu-77108DiVA, id: diva2:524890
Merknad
Funding Agencies|European Research Council (ERC)||Tilgjengelig fra: 2012-05-04 Laget: 2012-05-04 Sist oppdatert: 2017-12-07

Open Access i DiVA

fulltext(440 kB)773 nedlastinger
Filinformasjon
Fil FULLTEXT01.pdfFilstørrelse 440 kBChecksum SHA-512
afd08359eee77fc0c74a0ec9697ebe09a4cc423e327468a292cff41f579b7c3092eec58effd2354f50ffb4dc67f34c4a67f834ce84f9daf25af35d32039a0a9c
Type fulltextMimetype application/pdf

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Personposter BETA

Greczynski, GrzegorzLu, JunJensen, JensPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Greczynski, GrzegorzLu, JunJensen, JensPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Vacuum

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 773 nedlastinger
Antall nedlastinger er summen av alle nedlastinger av alle fulltekster. Det kan for eksempel være tidligere versjoner som er ikke lenger tilgjengelige

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 494 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf