liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical Characterization of MOCVD Grown Single Crystalline AlN Thin Films on 4H-SiC
Science Institute, University of Iceland, Iceland.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Science Institute, University of Iceland, Iceland.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Visa övriga samt affilieringar
2019 (Engelska)Ingår i: Silicon Carbide and Related Materials 2018, Trans Tech Publications Ltd , 2019, Vol. 963, s. 460-464Konferensbidrag (Refereegranskat)
Abstract [en]

We report on a very low density of interface traps at the AlN/4H-SiC interface estimated from capacitance-voltage (CV) analysis of metal-insulator-semiconductor (MIS) capacitors. Single crystalline aluminum nitride (AlN) films are grown by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). Current-voltage (IV) analysis shows that the breakdown electric field across the AlN dielectric is 3 MV/cm. By depositing an additional SiO2 layer on top of the AlN layer it is possible to increase the breakdown voltage of the MIS capacitors significantly without having pronounced impact on the quality of the AlN/SiC interface.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Trans Tech Publications Ltd , 2019. Vol. 963, s. 460-464
Serie
Materials Science Forum
Nyckelord [en]
Interface Traps, AlN/4H-SiC Interface, MIS Capacitors
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-160897DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.963.460OAI: oai:DiVA.org:liu-160897DiVA, id: diva2:1360626
Tillgänglig från: 2019-10-14 Skapad: 2019-10-14 Senast uppdaterad: 2019-10-14

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Chen, J. T.Karhu, RobinHassan, JawadSveinbjörnsson, Einar Ö.
Av organisationen
Halvledarmaterial
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 80 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf