liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Properties of 3C-SiC Grown by Sublimation Epitaxy on Different Type of Substrates
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
UMR-CNRS.
UMR-CNRS.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
2010 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum, Vols. 645-648, Transtec Publications; 1999 , 2010, Vol. 645-648, s. 183-186Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

3C-SiC layers have been grown by using sublimation epitaxy at a temperature of 2000 degrees C, on different types of on-axis 6H-SiC(0001) substrates. The influence of the type of substrate on the morphology of the layers investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) is discussed. Stacking faults are studied by reciprocal space map (RSM) which shows that double positions domains exists.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Transtec Publications; 1999 , 2010. Vol. 645-648, s. 183-186
Nyckelord [en]
3C-SiC; Sublimation Epitaxy; morphology; AFM; HRXRD
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-58208DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.645-648.183ISI: 000279657600043OAI: oai:DiVA.org:liu-58208DiVA, id: diva2:338119
Konferens
ICSCRM2009
Tillgänglig från: 2010-08-10 Skapad: 2010-08-09 Senast uppdaterad: 2010-12-08

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Beshkova, MilenaBirch, JensSyväjärvi, MikaelYakimova, Rositsa

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Beshkova, MilenaBirch, JensSyväjärvi, MikaelYakimova, Rositsa
Av organisationen
HalvledarmaterialTekniska högskolanTunnfilmsfysik
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 287 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf