liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
AlN-based sputter-deposited shear mode thin film bulk acoustic resonator (FBAR) for biosensor applications - A review
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
2010 (Engelska)Ingår i: SURFACE and COATINGS TECHNOLOGY, ISSN 0257-8972, Vol. 205, nr 5, s. 1279-1286Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

A new type of biosensor device is here presented which is fabricated using the same processes used for the fabrication of integrated electrical circuits to enable tighter integration and further sensor/biosensor miniaturization. The device is a so-called thin film bulk acoustic resonator (FBAR) operating in shear mode. Here specifically AlN-based shear mode FBAR is addressed but also an overview of the shear mode FBAR development in general is presented. Developments are reported of a low temperature reactive sputtering process for growing wurtzite-AlN thin films with a close to homogenous c-axis inclination over a 4 substrate wafer. This process enabled fabrication of shear mode FBAR sensors. The sensor operation is described along with how the design parameters influence its performance. Specifically, sensitivity amplification utilizing low acoustic impedance layers in the FBAR structure is demonstrated and explained. The resolution of the AlN shear mode FBAR sensor is demonstrated to already be comparable with the conventional quartz crystal microbalance (QCM) sensor, suggesting that shear mode FBAR may be a competitive and low cost alternative to QCM.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier Science B.V., Amsterdam. , 2010. Vol. 205, nr 5, s. 1279-1286
Nyckelord [en]
Biosensor, Thin film technology, Electro-acoustic device, Shear mode
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-65927DOI: 10.1016/j.surfcoat.2010.08.109ISI: 000285487700020OAI: oai:DiVA.org:liu-65927DiVA, id: diva2:400806
Tillgänglig från: 2011-02-28 Skapad: 2011-02-28 Senast uppdaterad: 2011-02-28

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Wingqvist, Gunilla

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Wingqvist, Gunilla
Av organisationen
Institutionen för fysik, kemi och biologiTekniska högskolan
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 140 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf