liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Selection of metal ion irradiation for controlling Ti1-xAlxN alloy growth via hybrid HIPIMS/magnetron co-sputtering
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Seco Tools AB.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 86, nr 8, s. 1036-1040Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We demonstrate, for the first time, the growth of metastable single-phase NaCl-structure high-AlN-content Ti1-xAlxN alloys (x andlt;= 0.64) which simultaneously possess high hardness and low residual stress. The films are grown using a hybrid approach combining high-power pulsed magnetron (HPPMS/HIPIMS) and dc magnetron sputtering of opposing metal targets. With HIPIMS applied to the Al target, Aln+ ion irradiation (dominated by Aln+) of the growing film results in alloys 0.55 andlt;= x andlt;= 0.60 which exhibit hardness H similar to 30 GPa and low stress sigma = 0.2-0.7 GPa, tensile. In sharp contrast, films with corresponding AlN concentrations grown with HIPIMS applied to the Ti target, giving rise to Tin+ ion irradiation (with a significant Ti2+ component), are two-phase - cubic (Ti,Al)N and hexagonal AlN - with low hardness, H = 18-19 GPa, and high compressive stress ranging up to 2.7 GPa. Annealing alloys grown with HIPIMS applied to the Al target results in age hardening due to spinodal decomposition; the hardness of Ti0.41Al0.59N increases from 30 to 33 GPa following a 900 degrees C anneal.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2012. Vol. 86, nr 8, s. 1036-1040
Nyckelord [en]
HIPIMS, HPPMS, TiAlN, Ionized PVD
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-77108DOI: 10.1016/j.vacuum.2011.10.027ISI: 000302444700003OAI: oai:DiVA.org:liu-77108DiVA, id: diva2:524890
Anmärkning
Funding Agencies|European Research Council (ERC)||Tillgänglig från: 2012-05-04 Skapad: 2012-05-04 Senast uppdaterad: 2017-12-07

Open Access i DiVA

fulltext(440 kB)776 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 440 kBChecksumma SHA-512
afd08359eee77fc0c74a0ec9697ebe09a4cc423e327468a292cff41f579b7c3092eec58effd2354f50ffb4dc67f34c4a67f834ce84f9daf25af35d32039a0a9c
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Greczynski, GrzegorzLu, JunJensen, JensPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Greczynski, GrzegorzLu, JunJensen, JensPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars
Av organisationen
Institutionen för fysik, kemi och biologiTekniska högskolanTunnfilmsfysik
I samma tidskrift
Vacuum
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 776 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 494 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf