liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Room-temperature heteroepitaxy of single-phase Al1-xInxN films with full composition range on isostructural wurtzite templates
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0001-7192-0670
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0003-3203-7935
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0001-9140-6724
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 524, s. 113-120Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Al1-xInxN heteroepitaxial layers covering the full composition range have been realized by magnetron sputter epitaxy on basal-plane AlN, GaN, and ZnO templates at room temperature (RT). Both Al1-xInxN single layers and multilayers grown on these isostructural templates show single phase, single crystal wurtzite structure. Even at large lattice mismatch between the film and the template, for instance InN/AlN (similar to 13% mismatch), heteroepitaxy is achieved. However, RT-grown Al1-xInxN films directly deposited on non-isostructural c-plane sapphire substrate exhibit a polycrystalline structure for all compositions, suggesting that substrate surface structure is important for guiding the initial nucleation. Degradation of Al1-xInxN structural quality with increasing indium content is attributed to the formation of more point-and structural defects. The defects result in a prominent hydrostatic tensile stress component, in addition to the biaxial stress component introduced by lattice mismatch, in all RT-grown Al1-xInxN films. These effects are reflected in the measured in-plane and out-of-plane strains. The effect of hydrostatic stress is negligible compared to the effects of lattice mismatch in high-temperature grown AlN layers thanks to their low amount of defects. We found that Vegards rule is applicable to determine x in the RT-grown Al1-xInxN epilayers if the lattice constants of RT-sputtered AlN and InN films are used instead of those of the strain-free bulk materials.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2012. Vol. 524, s. 113-120
Nyckelord [en]
Magnetron sputter epitaxy, Aluminum indium nitride, Transmission electron microscopy, Sputtering, Vegards rule, Strain
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-86626DOI: 10.1016/j.tsf.2012.09.072ISI: 000311410300018OAI: oai:DiVA.org:liu-86626DiVA, id: diva2:580117
Anmärkning

Funding Agencies|Swedish Strategic Foundation||

Tillgänglig från: 2012-12-20 Skapad: 2012-12-20 Senast uppdaterad: 2021-12-29

Open Access i DiVA

fulltext(793 kB)1203 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 793 kBChecksumma SHA-512
34dd2b921d4ee74a7c928e694082e47cb273eab04a6bcac4e12fd5bcc08159ebac9fbb5b8b40d5b66634ce3ea2806c8ad5f816d4a9d4082f118ed7de78ad67cd
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Person

Hsiao, Ching-LienPalisaitis, JustinasPersson, Per O AJensen, JensZhao, QingxiangHultman, LarsBirch, Jens

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hsiao, Ching-LienPalisaitis, JustinasPersson, Per O AJensen, JensZhao, QingxiangHultman, LarsBirch, Jens
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska högskolanInstitutionen för fysik, kemi och biologiFysik och elektroteknik
I samma tidskrift
Thin Solid Films
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 1213 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 522 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf