liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Reactive sputtering of delta-ZrH2 thin films by high power impulse magnetron sputtering and direct current magnetron sputtering
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Impact Coatings AB, Linköping, Sweden .
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 32, nr 4, s. 041510-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Reactive sputtering by high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and direct current magnetron sputtering (DCMS) of a Zr target in Ar/H-2 plasmas was employed to deposit Zr-H films on Si(100) substrates, and with H content up to 61 at.% and O contents typically below 0.2 at.% as determined by elastic recoil detection analysis. X-ray photoelectron spectroscopy reveals a chemical shift of similar to 0.7 eV to higher binding energies for the Zr-H films compared to pure Zr films, consistent with a charge transfer from Zr to H in a zirconium hydride. X-ray diffraction shows that the films are single-phase delta-ZrH2 (CaF2 type structure) at H content greater thansimilar to 55 at.% and pole figure measurements give a 111 preferred orientation for these films. Scanning electron microscopy cross-section images show a glasslike microstructure for the HiPIMS films, while the DCMS films are columnar. Nanoindentation yield hardness values of 5.5-7 GPa for the delta-ZrH2 films that is slightly harder than the similar to 5 GPa determined for Zr films and with coefficients of friction in the range of 0.12-0.18 to compare with the range of 0.4-0.6 obtained for Zr films. Wear resistance testing show that phase-pure delta-ZrH2 films deposited by HiPIMS exhibit up to 50 times lower wear rate compared to those containing a secondary Zr phase. Four-point probe measurements give resistivity values in the range of similar to 100-120 mu Omega cm for the delta-ZrH2 films, which is slightly higher compared to Zr films with values in the range 70-80 mu Omega cm.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 2014. Vol. 32, nr 4, s. 041510-
Nationell ämneskategori
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-109234DOI: 10.1116/1.4882859ISI: 000338718400022OAI: oai:DiVA.org:liu-109234DiVA, id: diva2:737182
Tillgänglig från: 2014-08-12 Skapad: 2014-08-11 Senast uppdaterad: 2020-02-17Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(1152 kB)407 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 1152 kBChecksumma SHA-512
bf47f9a8257b074e9b3f10f0349533c9fd9712a26df869e5253ab9705062dc71d2109bc45721b3353223f2a97bcd640410c379a7420e207d46250fb050e6834b
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Högberg, HansTengdelius, LinaEriksson, FredrikBroitman, EstebanLu, JunJensen, JensHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Högberg, HansTengdelius, LinaEriksson, FredrikBroitman, EstebanLu, JunJensen, JensHultman, Lars
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska högskolan
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 407 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 431 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf