liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Strained Ge FinFET structures fabricated by selective epitaxial growth
Imec, Kapeldreef 75, B- 3001 Leuven, Belgium.
Imec, Kapeldreef 75, B- 3001 Leuven, Belgium.
Imec, Kapeldreef 75, B- 3001 Leuven, Belgium.
Imec, Kapeldreef 75, B- 3001 Leuven, Belgium.
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Silicon-Germanium Technology and Device Meeting (ISTDM), 2014 7th International, 2014, s. 19-20Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Resurstyp
Text
Abstract [en]

A one-growth step fabrication scheme for strained Ge FinFET structures has been successfully developed and implemented in a device fabrication scheme. From device point of view, the concept including two growth steps might be even more favorable. However, it requires an improvement of the pre-epi oxide removal from Si1-xGex surfaces.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2014. s. 19-20
Nyckelord [en]
MOSFET;elemental semiconductors;epitaxial growth;germanium;semiconductor epitaxial layers;Ge;one-growth step fabrication scheme;pre-epi oxide removal;selective epitaxial growth;strained Ge FinFET structures;Epitaxial growth;Optimization;Rough surfaces;Silicon;Silicon germanium;Surface morphology;Surface treatment
Nationell ämneskategori
Textil-, gummi- och polymermaterial
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-128849DOI: 10.1109/ISTDM.2014.6874674OAI: oai:DiVA.org:liu-128849DiVA, id: diva2:932650
Konferens
7th International SiGe Technology and Device Meeting - ISTDM. 2-4 June 2014, Singapore
Tillgänglig från: 2016-06-02 Skapad: 2016-06-02 Senast uppdaterad: 2016-06-17

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Sun, Jianwu

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Sun, Jianwu
Textil-, gummi- och polymermaterial

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 60 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf