liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Novel transparent Mg-Si-O-N thin films with high hardness and refractive index
Linnaeus University, Sweden.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad optik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-6371-0638
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Visa övriga samt affilieringar
2016 (Engelska)Ingår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 131Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

There is an increasing demand for glass materials with better mechanical and optical properties for display and electronic applications. This paper describes the deposition of novel thin films of Mg-circle divide-Si-O-N onto float glass substrates. Amorphous thin films in the Mg-Si-O-N system with high nitrogen and magnesium contents were deposited by reactive RF magnetron co-sputtering from Mg and Si targets in Ar/N-2/O-2 gas mixtures. The thin films studied span an unprecedented range of compositions up to 45 at% Mg and 80 at% N out of cations and anions respectively. Thin films in the Mg-Si-O-N system were found to be homogeneous and transparent in the visible region. Mechanical properties like hardness (H) and reduced elastic modulus (Er) show high values, up to 21 GPa and 166 GPa respectively. The refractive index (1.87-2.00) increases with increasing magnesium and nitrogen contents. (C) 2016 Elsevier Ltd. All rights reserved.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD , 2016. Vol. 131
Nyckelord [en]
Oxynitride thin films; Magnetron sputtering; High nitrogen content; Hardness; Refractive index
Nationell ämneskategori
Oorganisk kemi
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-131901DOI: 10.1016/j.vacuum.2016.05.023ISI: 000381541400001OAI: oai:DiVA.org:liu-131901DiVA, id: diva2:1034872
Anmärkning

Funding Agencies|AForsk foundation [14- 457]; European Research Council under the European Communitys Seventh Framework Programme (FP)/ERC grant [335383]; Swedish Foundation for Strategic Research (SSF) through the Future Research Leaders 5 Program; Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linkoping University Faculty Grant SFO Mat LiU [2009 00971]

Tillgänglig från: 2016-10-13 Skapad: 2016-10-11 Senast uppdaterad: 2017-11-29

Open Access i DiVA

fulltext(1887 kB)76 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 1887 kBChecksumma SHA-512
a0bf1312d6fb13681eb18ea648fe069599f859b8afac36b3aed00f5ef858e5dbdcfbc2edd7189403feb64b301385ab861b31c5a3cca4aaa0ed8b91fbe8147abe
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Paul, BiplabMagnusson, RogerGreczynski, GrzegorzBroitman, EstebanEklund, PerBirch, Jens
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakultetenTillämpad optikInstitutionen för fysik, kemi och biologi
I samma tidskrift
Vacuum
Oorganisk kemi

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 76 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 831 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf