liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Impact of B4C co-sputtering on structure and optical performance of Cr/Sc multilayer X-ray mirrors
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-5828-5796
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
SLAC National Accelerator Laboratory, 2575 Sand Hill Road, Menlo Park, California, USA.
Center for X-Ray Optics, Lawrence Berkeley National Lab, Berkeley, California, USA.
Visa övriga samt affilieringar
2017 (Engelska)Ingår i: Optics Express, ISSN 1094-4087, E-ISSN 1094-4087, Vol. 25, nr 15, s. 18274-18287Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The influence of B4C incorporation during magnetron sputter deposition of Cr/Sc multilayers intended for soft X-ray reflective optics is investigated. Chemical analysis suggests formation of metal: boride and carbide bonds which stabilize an amorphous layer structure, resulting in smoother interfaces and an increased reflectivity. A near-normal incidence reflectivity of 11.7%, corresponding to a 67% increase, is achieved at λ = 3.11 nm upon adding 23 at.% (B + C). The advantage is significant for the multilayer periods larger than 1.8 nm, where amorphization results in smaller interface widths, for example, giving 36% reflectance and 99.89% degree of polarization near Brewster angle for a multilayer polarizer. The modulated ion-energy-assistance during the growth is considered vital to avoid intermixing during the interface formation even when B + C are added.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Optical Society of America, 2017. Vol. 25, nr 15, s. 18274-18287
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap Oorganisk kemi
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-139944DOI: 10.1364/oe.25.018274ISI: 000408584400128PubMedID: 28789315Scopus ID: 2-s2.0-85025823281OAI: oai:DiVA.org:liu-139944DiVA, id: diva2:1135067
Anmärkning

Funding agencies: Swedish Science Council; Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linkoping University (Faculty Grant SFO-Mat-LiU) [2009 00971]

Tillgänglig från: 2017-08-22 Skapad: 2017-08-22 Senast uppdaterad: 2020-03-19Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(1163 kB)63 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 1163 kBChecksumma SHA-512
ad08fb05fd1991b5a092d753b487c3fe34c8db77ffb749aa0c2dee5e89575b114281597f88e1700a5e029d55bb371d1f3b3b773b7489655e9dd1ac758316131c
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltextPubMedScopus

Personposter BETA

Ghafoor, NaureenEriksson, FredrikGreczynski, GrzegorzBirch, Jens

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Ghafoor, NaureenEriksson, FredrikGreczynski, GrzegorzBirch, Jens
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Optics Express
NaturvetenskapOorganisk kemi

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 63 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
pubmed
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
pubmed
urn-nbn
Totalt: 224 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf