liu.seSearch for publications in DiVA
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical Characterisation of Thick 3C-SiC Layers Grown on Off-Axis 4H-SiC Substrates
University of Warwick, Coventry, United Kingdom.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
University of Warwick, Coventry, United Kingdom.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Vise andre og tillknytning
2019 (engelsk)Inngår i: Materials Science Forum, ISSN 0255-5476, E-ISSN 1662-9752, Vol. 963, s. 353-356Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

300 μm thick 3C-SiC epilayer was grown on off-axis 4H-SiC(0001) substrate with a high growth rate of 1 mm/hour. Dry oxidation, wet oxidation and N2O anneal were applied to fabricate lateral MOS capacitors on these 3C-SiC layers. MOS interface obtained by N2O anneal has the lowest interface trap density of 3~4x1011 eV-1cm-2. Although all MOS capacitors still have positive net charges at the MOS interface, the wet oxidised sample has the lowest effective charge density of ~9.17x1011 cm-2.

sted, utgiver, år, opplag, sider
Trans Tech Publications, 2019. Vol. 963, s. 353-356
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-160225DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.963.353Scopus ID: 2-s2.0-85071861789OAI: oai:DiVA.org:liu-160225DiVA, id: diva2:1350666
Tilgjengelig fra: 2019-09-11 Laget: 2019-09-11 Sist oppdatert: 2019-09-17bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

Fulltekst mangler i DiVA

Andre lenker

Forlagets fulltekstScopus

Personposter BETA

Jokubavicius, ValdasYakimova, Rositsa

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Jokubavicius, ValdasYakimova, Rositsa
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Materials Science Forum

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 17 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf