liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Deposition of MAX phase-containing thin films from a (Ti,Zr)(2)AlC compound target
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Katholieke Univ Leuven, Belgium.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Visa övriga samt affilieringar
2021 (Engelska)Ingår i: Applied Surface Science, ISSN 0169-4332, E-ISSN 1873-5584, Vol. 551, artikel-id 149370Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

This work reports on sputter depositions carried out from a compound (Ti,Zr)(2)AlC target on Al2O3(0 0 0 1) substrates at temperatures ranging between 500 and 900 degrees C. Short deposition times yielded 30-40 nm-thick Al-containing (Ti,Zr)C films, whereas longer depositions yielded thicker films up to 90 nm which contained (Ti,Zr)C and intermetallics. At 900 degrees C, the longer depositions led to films that also consisted of solid solution MAX phases. Detailed transmission electron microscopy showed that both (Ti,Zr)(2)AlC and (Ti,Zr)(3)AlC2 solid solution MAX phases were formed. Moreover, this work discusses the growth mechanism of the thicker films, which started with the formation of the mixed (Ti,Zr)C carbide, followed by the nucleation and growth of aluminides, eventually leading to solid state diffusion of Al within the carbide, at the highest temperature (900 degrees C) to form the MAX phases.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2021. Vol. 551, artikel-id 149370
Nyckelord [en]
Magnetron sputtering; Compound target; MAX phase solid solution; (TiZr)(2)AlC
Nationell ämneskategori
Oorganisk kemi
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-178550DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.149370ISI: 000674654300024OAI: oai:DiVA.org:liu-178550DiVA, id: diva2:1588162
Anmärkning

Funding Agencies|Swedish research council VR-RFISwedish Research Council [2017-00646_9]; Swedish Foundation for Strategic ResearchSwedish Foundation for Strategic Research [RIF14-0053]; Euratom research and training programme 2014-2018 [740415]; Stiftelsen Olle Engkvist ByggmastareSwedish Research Council [184-561]; Knut and Alice Wallenberg FoundationKnut & Alice Wallenberg Foundation [KAW 2015.0043]; Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linkoping University (Faculty Grant SFO-MatLiU) [2009 00971]; Research Foundation FlandersFWO [AKUL/1319]

Tillgänglig från: 2021-08-26 Skapad: 2021-08-26 Senast uppdaterad: 2021-09-23

Open Access i DiVA

fulltext(8448 kB)207 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 8448 kBChecksumma SHA-512
d5a256fb1a3c50e3a108bf061ee3899f36bb16ae0abf1cfa6996936d3fc980f9dc33ace1510780aa618bb0d083a04c2b88a2c8fb76fc56c8957c404f941da526
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Azina, ClioPetruhins, AndrejsXin, BinbinYildizhan Özyar, MelikePersson, Per O ARosén, JohannaEklund, Per
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Applied Surface Science
Oorganisk kemi

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 208 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 144 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf