liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Low temperature epitaxial growth of Cantor-nitride thin films by magnetic field assisted magnetron sputtering
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0001-9630-7071
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Plasma och ytbeläggningsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-6602-7981
Uppsala Univ, Sweden.
Visa övriga samt affilieringar
2023 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 41, nr 5, artikel-id 053415Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Low-temperature epitaxial growth of multicomponent alloy-based thin films remains an outstanding challenge in materials science and is important for established fundamental properties of these complex materials. Here, Cantor nitride (CrMnFeCoNi)N thin films were epitaxially grown on MgO(100) substrates at low deposition temperature by magnetic-field-assisted dc-magnetron sputtering, a technique where a magnetic field is applied to steer the dense plasma to the substrate thereby influencing the flux of Ar-ions bombarding the film during growth. Without ion bombardment, the film displayed textured growth. As the ion flux was increased, the films exhibited epitaxial growth. The epitaxial relationship between film and substrate was found to be cube on cube (001)film parallel to(001)MgO, [100]film parallel to[100]MgO. The epitaxy was retained up to a thickness of approximately similar to 100 nm after which the growth becomes textured with a 002 out-of-plane orientation. The elastic constants determined by Brillouin inelastic light scattering were found to be C-11 = 320 GPa, C-12 = 125 GPa, and C-44 = 66 GPa, from which the polycrystalline Youngs modulus was calculated as 204 GPa and Poissons ratio = 0.32, whereas available elastic properties still remained very scarce. (c) 2023 Author(s). All article content, except where otherwise noted, is licensed under a Creative Commons Attribution (CC BY) license (http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/).

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
A V S AMER INST PHYSICS , 2023. Vol. 41, nr 5, artikel-id 053415
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-197862DOI: 10.1116/6.0002947ISI: 001058150700001OAI: oai:DiVA.org:liu-197862DiVA, id: diva2:1798199
Anmärkning

Funding Agencies|VINNOVA Competence Centre FunMat-II; Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linkouml;ping University; Knut and Alice Wallenberg foundation through the Wallenberg Academy Fellows program; Swedish Research Council (VR); Swedish Research Council VR-RFI; [2016-05156]; [2009 00971]; [KAW-2020.0196]; [2021-03826]; [2019_00191]

Tillgänglig från: 2023-09-18 Skapad: 2023-09-18 Senast uppdaterad: 2024-02-12

Open Access i DiVA

fulltext(4777 kB)13 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 4777 kBChecksumma SHA-512
c2c21003ba14c1b69fb256a1259e8171683489b2405cb46e57e28bd897a3682e86b38dcc26096e435036baba24aba3dda1e9d26ce0ef3921f572937016d3124e
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Gangaprasad Rao, SmitaIllgner, Pascal ManuelBoyd, RobertPetrov, IvanLe Febvrier, ArnaudEklund, Per
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakultetenPlasma och ytbeläggningsfysik
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 13 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 112 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf