liu.seSearch for publications in DiVA
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Epitaxial growth of Al-Cr-N thin films on MgO(111)
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, University of Leoben.
Vise andre og tillknytning
2008 (engelsk)Inngår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 517, nr 2, s. 598-602Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

Cubic rock salt structure Al0.60Cr0.40N and Al0.68Cr0.32N films of different thicknesses were grown epitaxially onto MgO(111) substrates by reactive unbalanced magnetron sputtering at 500°C. Rutherford backscattering spectroscopy reveals stoichiometric nitrides with Al/Cr ratios close to the ones of the used compound targets of 60/40 and 70/30. High resolution x-ray diffraction proves epitaxial growth over the whole film thickness up to thicknesses of ~1.8 µm. Reciprocal space maps and selected area electron diffraction show that the AlxCr1-xN films grow fully relaxed. Scanning and transmission electron microscopy imaging reveals columnar microstructures with column widths between 12–16 nm and {001} surface faceting on individual columns. The fully relaxed growth and the columnar structure can be attributed to limited ad‑atom mobility on the initial AlxCr1-xN(111) growth surface.

sted, utgiver, år, opplag, sider
2008. Vol. 517, nr 2, s. 598-602
Emneord [en]
AlCrN, CrAlN, Coherence length, Mosaicity, Wurtzite structure, Epitaxy
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-14828DOI: 10.1016/j.tsf.2008.07.003OAI: oai:DiVA.org:liu-14828DiVA, id: diva2:25321
Merknad
Original publication: H. Willmann, M. Beckers, J. Birch, P.H. Mayrhofer, C. Mitterer, and L. Hultman, Epitaxial growth of Al-Cr-N thin films on MgO(111), 2008, Thin Solid Films, (517), 2, 598-602. http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2008.07.003. Copyright: Elsevier B.V., http://www.elsevier.com/Tilgjengelig fra: 2008-09-25 Laget: 2008-09-25 Sist oppdatert: 2019-01-28

Open Access i DiVA

fulltekst(268 kB)1488 nedlastinger
Filinformasjon
Fil FULLTEXT03.pdfFilstørrelse 268 kBChecksum SHA-512
8f3e296c4912c70609ad2910da496929dc186344b0b0bfda91a1a0c829b197f89caae6d5076eb52cf122091e2c71ef718f80a26deaff4f446c8c3515ccdfbcfa
Type fulltextMimetype application/pdf

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Personposter BETA

Willmann, HerbertBeckers, ManfredBirch, JensHultman, Lars

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Willmann, HerbertBeckers, ManfredBirch, JensHultman, Lars
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Thin Solid Films

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 1493 nedlastinger
Antall nedlastinger er summen av alle nedlastinger av alle fulltekster. Det kan for eksempel være tidligere versjoner som er ikke lenger tilgjengelige

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 347 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf