liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
AlGaInN metal-organic-chemical-vapor-deposition gas-phase chemistry in hydrogen and nitrogen diluents: First-principles calculations
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.ORCID-id: 0000-0001-9402-1491
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Beräkningsfysik.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.ORCID-id: 0000-0002-2837-3656
Visa övriga samt affilieringar
2006 (Engelska)Ingår i: Chemical Physics Letters, ISSN 0009-2614, E-ISSN 1873-4448, Vol. 431, nr 4-6, s. 346-351Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Direct impact of H2 and N2 diluents on the metal-organic-chemical-vapor-deposition gas-phase chemistry in M(CH3)3/NH3 (M = Al, Ga, In) systems is identified in the framework of Density Functional Theory in terms of cohesive energy differences. While both diluents destabilize model reaction species, i.e. adducts, transition states and chain complexes, the effect is particularly strong with respect to N2 in the Al(CH3)3/NH3 system, and can be a factor to restrain the expansion of chain complexes that deplete the gas-phase from precursors. Theoretical results are supported by experimental evidences of higher growth rate and superior optical properties of AlN grown in N2 vs. H2 diluent. © 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2006. Vol. 431, nr 4-6, s. 346-351
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-36471DOI: 10.1016/j.cplett.2006.09.102Lokalt ID: 31415OAI: oai:DiVA.org:liu-36471DiVA, id: diva2:257319
Tillgänglig från: 2009-10-10 Skapad: 2009-10-10 Senast uppdaterad: 2017-12-13

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Kakanakova-Georgieva, AneliaGueorguiev, Gueorgui KostovStafström, SvenHultman, LarsJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Kakanakova-Georgieva, AneliaGueorguiev, Gueorgui KostovStafström, SvenHultman, LarsJanzén, Erik
Av organisationen
Tekniska högskolanHalvledarmaterialTunnfilmsfysikBeräkningsfysik
I samma tidskrift
Chemical Physics Letters
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 335 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf