liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth characteristics of SiC in a hot-wall CVD reactor with rotation
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Materiefysik.
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: Journal of Crystal Growth, ISSN 0022-0248, E-ISSN 1873-5002, Vol. 241, nr 4, s. 431-438Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

A version of the hot-wall reactor, where rotation has been added is investigated for the growth of SiC. The capacity of the reactor is 2 in wafers. The rotation is realized by gas foil levitation of a single plate carrying all three wafers. Uniformities of thickness and doping below 1% and 5%, respectively have been obtained. The run to run reproducibility of n-type doping is within ±10%. The morphology is studied and greatly improved through a modification of the hot-zone, which however made the thickness uniformity marginally worse. © 2002 Published by Elsevier Science B.V.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 241, nr 4, s. 431-438
Nyckelord [en]
A1. Crystal morphology, A1. Doping, A3. Chemical vapor deposition processes, A3. Hot wall reactors, B2. Semiconducting materials
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-46997DOI: 10.1016/S0022-0248(02)00921-1OAI: oai:DiVA.org:liu-46997DiVA, id: diva2:267893
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2017-12-13

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Forsberg, UrbanHenry, AnneJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Forsberg, UrbanHenry, AnneJanzén, Erik
Av organisationen
Tekniska högskolanMateriefysik
I samma tidskrift
Journal of Crystal Growth
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 85 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf