liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Properties of combined TiN and Pt thin films applied to gas sensing
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.ORCID-id: 0000-0002-2837-3656
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad Fysik.ORCID-id: 0000-0002-0873-2877
Center for Microanalysis of Materials, Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, Urbana, IL 618 01, United States.
2002 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 20, nr 3, s. 667-673Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The effect of Pt in the proximity of TiN with respect to the oxidation behavior was addressed. TiN was grown at two different temperatures that are known to produce films with varying porosity. Pt was used as the catalytic metal and either deposited on top of the TiN film grown at 400°C or co-sputtered in a reactive atmosphere of Ar and N2 at the two different deposition temperatures. The films were characterized by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM), atomic force microscopy (AFM), x-ray diffraction, Auger electron spectroscopy (AES), and x-ray photoemission spectroscopy (XPS), and the gas response of the sensor to hydrogen, ammonia, propene, and acetaldehyde was measured. Aging studies were also carried out for a period of one month. Overall, significant results were obtained.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 20, nr 3, s. 667-673
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-47025DOI: 10.1116/1.1460889OAI: oai:DiVA.org:liu-47025DiVA, id: diva2:267921
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2017-12-13

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Person

Hultman, LarsEriksson, Mats

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hultman, LarsEriksson, Mats
Av organisationen
Tekniska högskolanTunnfilmsfysikTillämpad Fysik
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 199 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf