liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Electrical and optical properties of CNx(0=x=0.25) films deposited by reactive magnetron sputtering
Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0003-2749-8008
Visa övriga samt affilieringar
2001 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 89, nr 2, s. 1184-1190Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The electrical and optical properties of carbon-nitride CNx films (O=x=0.25) deposited by unbalanced reactive magnetron sputtering from a graphite target in mixed Ar/N2 discharges at a substrate temperature of 350°C have been investigated. Pure C films exhibit a dark conductivity at room temperature of 250 O-1 cm-1, which grows up to 250 O-1 cm-1 for CNx films with N content of 20%. For CNx films, temperature-dependent conductivity measurements suggest that two electron conduction processes exist in the investigated temperature range 130

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2001. Vol. 89, nr 2, s. 1184-1190
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-47482DOI: 10.1063/1.1334370OAI: oai:DiVA.org:liu-47482DiVA, id: diva2:268378
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2017-12-13

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Järrendahl, KennethHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Järrendahl, KennethHultman, Lars
Av organisationen
Tekniska högskolanTunnfilmsfysik
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 186 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf