liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Predictions of nitrogen doping in SiC epitaxial layers
Linköpings universitet, Hälsouniversitetet. Linköpings universitet, Institutionen för nervsystem och rörelseorgan.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
2003 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum, Vols. 433-436, 2003, Vol. 433-4, s. 137-140Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

Growth of device quality epitaxial layers requires precise control of thickness and doping uniformities. Computer simulations can provide growers with the necessary knowledge for improving and optimizing the growth process. In this work, the CVD process is simulated in three dimensions, using a reaction-mass transport model. A simplified quantitative model for the nitrogen incorporation in intentionally doped 4H-SiC samples has been developed and applied to a wide range of process parameters. Different reaction schemes are necessary for the two faces of SiC to account for the different doping incorporation behavior. The simulations are validated by experimental data measured by SIMS with good agreement.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2003. Vol. 433-4, s. 137-140
Nyckelord [en]
CVD, doping, epitaxy, modeling, simulation
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-48531OAI: oai:DiVA.org:liu-48531DiVA, id: diva2:269427
Konferens
ECSCRM2002
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2010-12-06

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Danielsson, OlofForsberg, UrbanJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Danielsson, OlofForsberg, UrbanJanzén, Erik
Av organisationen
HälsouniversitetetInstitutionen för nervsystem och rörelseorganTekniska högskolanHalvledarmaterial
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 141 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf