liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth characteristics of SiC in a hot-wall CVD reactor with rotation
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden Okmetic AB, SE-58330 Linkoping, Sweden.
Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden Okmetic AB, SE-58330 Linkoping, Sweden.
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum(ISSN 0255-5476) Volume 389-3, 2002, Vol. 389-3, s. 191-194Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

SiC epitaxy has been studied in a horizontal hot-wall CVD reactor with rotation by gas foil levitation. A capacity of three 2 inch wafers has been realized, and the thickness uniformity over a 2 inch wafer is below 1% and the n-doping uniformity over a 35mm wafer, below 10%. Both n- and p-type doping is readily achieved with no memory effect. The layer morphology has been investigated and a featureless surface has been obtained through process optimization and a modification of the hot zone.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 389-3, s. 191-194
Nyckelord [en]
CVD, doping, hot-wall, morphology, rotation, uniformity
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-48797OAI: oai:DiVA.org:liu-48797DiVA, id: diva2:269693
Konferens
ICSCRM2001
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2014-10-08

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Forsberg, UrbanHenry, AnneKordina, OlleJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Forsberg, UrbanHenry, AnneKordina, OlleJanzén, Erik
Av organisationen
Tekniska högskolanHalvledarmaterial
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 104 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf