liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Characterization of bulk and epitaxial SiC material using photoluminescence spectroscopy
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.ORCID-id: 0000-0001-5768-0244
Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden Okmet AB, SE-58330 Linkoping, Sweden.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial.
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum, Vols. 389-393, 2002, Vol. 389-3, s. 593-596Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

We are using low temperature photoluminescence (LTPL) to evaluate the quality of SiC wafers and are able to characterize up to 2 inch diameter wafers (with or without epilayers) at low temperature (2K). Polytype maps for bulk material can be drawn, as well as nitrogen concentration maps for both bulk and epilayer wafers in the very large doping range available today (from low 10(14) cm(-3) to 10(19) cm(-3)).

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 389-3, s. 593-596
Nyckelord [en]
doping, photoluminescence, polytypes
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-48818OAI: oai:DiVA.org:liu-48818DiVA, id: diva2:269714
Konferens
ICSCRM2001
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2015-09-22

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Henry, AnneForsberg, UrbanMagnusson, BjörnPozina, GaliaJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Henry, AnneForsberg, UrbanMagnusson, BjörnPozina, GaliaJanzén, Erik
Av organisationen
Tekniska högskolanHalvledarmaterial
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 100 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf