liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Optical characterization of 4H-SiC by variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry
Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad optik.ORCID-id: 0000-0001-9229-2028
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Materiefysik.
Linkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden.
Visa övriga samt affilieringar
2000 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum, ISSN 0255-5476, E-ISSN 1662-9752, Vol. 338-3, s. 575-578Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

A variable angle of incidence spectroscopic ellipsometer equipped with a compensator has been used to determine the dielectric functions in the 0.74 - 6 eV photon energy range of n-type bulk 4H-SiC with doping concentrations between 10(17) and 10(19) cm(-3). The resulting dielectric function for different SiC wafers depends on the doping concentration, especially around the absorption onset and higher photon energies. Measurements on different wafers with the same doping show good reproducibility. Simulations and preliminary measurements show that ellipsometry might be useful for thickness determination of thin (<1 m) homoepitaxial films.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2000. Vol. 338-3, s. 575-578
Nyckelord [en]
doping concentration, ellipsometry, SiC dielectric function
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-49439OAI: oai:DiVA.org:liu-49439DiVA, id: diva2:270335
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2017-12-12

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Arwin, HansForsberg, UrbanJärrendahl, Kenneth

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Arwin, HansForsberg, UrbanJärrendahl, Kenneth
Av organisationen
Tekniska högskolanTillämpad optikMateriefysik
I samma tidskrift
Materials Science Forum
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 91 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf