liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Thermal stability of nitride thin films
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.ORCID-id: 0000-0002-2837-3656
2000 (Engelska)Ingår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 57, nr 1Artikel, forskningsöversikt (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

This paper is a review of the thermal stability of state-of-the-art transition metal nitride thin films synthesized by physical vapour deposition techniques. Nitrides are successfully applied as wear-protection coatings for tools and mechanical components, decorative coatings, electrical contacts, and diffusion barriers in electronic devices. The aspects for thermal stability are on phase equilibrium, metal, nitrogen and impurity diffusion, recrystallization, phase separation, interfacial reactions, and oxidation. Microstructurally engineered structures are considered including single-crystals, nanolaminates, metastable alloys, and films in a state of compressive intrinsic stress. Titanium nitride is discussed in detail as a model system for the studies, but results are given also for NbN, AlN, BN, CNx, CrN, TiN-TiB2, Ti(C,N), and (Ti,Al)N films. More than 150 references are included. (C) 2000 Elsevier Science Ltd. All rights reserved.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2000. Vol. 57, nr 1
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-49709OAI: oai:DiVA.org:liu-49709DiVA, id: diva2:270605
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2017-12-12

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Personposter BETA

Hultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hultman, Lars
Av organisationen
Tekniska högskolanTunnfilmsfysik
I samma tidskrift
Vacuum
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 421 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf