liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Microhardness of 6H-SiC epitaxial layers grown by sublimation
University of Sofia.
University of Sofia.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
1999 (Engelska)Ingår i: Crystal research and technology (1981), ISSN 0232-1300, E-ISSN 1521-4079, Vol. 34, nr 8, s. 943-947Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Knoop microhardness of 6H-SiC layers grown by sublimation epitaxy was investigated. The microhardness-load curves for all of the samples were measured and then used to extract the load-independent microhardness values. The relationships of these values to the growth time and growth rate were studied. The microhardness-depth profiles indicated that the layer/substrate interface region had a microhardness value that differed significantly from that of both the epi-layer and the substrate.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1999. Vol. 34, nr 8, s. 943-947
Nyckelord [en]
silicon carbide;epitaxial layers;sublimation growth;microhardness
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-62865DOI: 10.1002/(SICI)1521-4079(199909)34:8<943::AID-CRAT943>3.0.CO;2-OOAI: oai:DiVA.org:liu-62865DiVA, id: diva2:374905
Tillgänglig från: 2010-12-06 Skapad: 2010-12-06 Senast uppdaterad: 2017-12-11

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Kakanakova-Georgieva, AneliaYakimova, RositsaJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Kakanakova-Georgieva, AneliaYakimova, RositsaJanzén, Erik
Av organisationen
HalvledarmaterialTekniska högskolanInstitutionen för fysik, kemi och biologi
I samma tidskrift
Crystal research and technology (1981)
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 83 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf