liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Structural properties of 6H-SiC epilayers grown by two different techniques
Sofia University.
Sofia University.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
1997 (Engelska)Ingår i: Materials Science and Engineering B, ISSN 0921-5107, Vol. 46, nr 1-3, s. 345-348Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

In the present work we investigated the structural properties of 6H-SiC homoepitaxial layers utilizing microhardness and X-ray characterization techniques. The growth was performed by chemical vapour deposition (CVD) and liquid phase epitaxy (LPE) under various growth conditions. The depth Knoop hardness profiles represent decreasing curves due to the indentation size effect. With load increasing the curves saturate reaching microhardness values comparable with the known Vickers ones. At about 0.4 μm beneath the layer surfaces the curves show small plateaus which may be attributed to structural inhomogeneity. This is suggested by X-ray diffraction spectra taken from the same samples, which contain additional peaks besides the typical ones for 6H-SiC.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1997. Vol. 46, nr 1-3, s. 345-348
Nyckelord [en]
Chemical vapor deposition; Liquid phase epitaxy; 6H-SiC layers
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-62870DOI: 10.1016/S0921-5107(96)01997-6OAI: oai:DiVA.org:liu-62870DiVA, id: diva2:374921
Tillgänglig från: 2010-12-06 Skapad: 2010-12-06 Senast uppdaterad: 2011-01-13

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Kakanakova-Georgieva, AneliaYakimova, RositsaHallin, ChristerSyväjärvi, MikaelJanzén, Erik

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Kakanakova-Georgieva, AneliaYakimova, RositsaHallin, ChristerSyväjärvi, MikaelJanzén, Erik
Av organisationen
HalvledarmaterialTekniska högskolanInstitutionen för fysik, kemi och biologi
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 117 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf