liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Process stabilization and enhancement of deposition rate during reactive high power pulsed magnetron sputtering of zirconium oxide
Institute of Physics (IA), RWTH Aachen University, Germany.ORCID-id: 0000-0003-2864-9509
Aachen University, Germany.
Aachen University, Germany.
Aachen University, Germany.
2008 (Engelska)Ingår i: Surface & Coatings Technology, ISSN 0257-8972, E-ISSN 1879-3347, Vol. 202, nr 20, s. 5033-5035Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Reactive high power pulsed magnetron sputtering (HPPMS) of zirconium oxide exhibits a stable and hysteresis-free transition zone, as opposed to reactive direct current magnetron sputtering (dcMS). The stabilization of the transition zone in HPPMS facilitates the growth of transparent zirconium oxide films at lower target coverage, in comparison to dcMS. The lower target coverage, in turn, allows for film deposition rates up to 2 times higher than those achieved by dcMS. The mechanisms which lead to the process stabilization in reactive HPPMS are discussed.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2008. Vol. 202, nr 20, s. 5033-5035
Nyckelord [en]
HPPMS HIPIMS; reactive deposition; deposition rate
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-71482DOI: 10.1016/j.surfcoat.2008.05.009ISI: 000258048400022OAI: oai:DiVA.org:liu-71482DiVA, id: diva2:450209
Tillgänglig från: 2011-10-20 Skapad: 2011-10-20 Senast uppdaterad: 2017-12-08

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Sarakinos, Kostas

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Sarakinos, Kostas
I samma tidskrift
Surface & Coatings Technology
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 95 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard1
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf