liu.seSearch for publications in DiVA
Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Geometrical Control of 3C and 6H-SiC Nucleation on Low Off-Axis Substrates
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Technical University of Denmark, Lyngby.
Technical University of Denmark, Lyngby.
Vise andre og tillknytning
2011 (engelsk)Inngår i: Materials Science Forum, ISSN 0255-5476, E-ISSN 1662-9752, Vol. 679-680, s. 103-106Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

Growth of 3C or 6H-SiC epilayers on low off-axis 6H-SiC substrates can be mastered by changing the size of the on axis plane formed by long terraces in the epilayer using geometrical control. The desired polytype can be selected in thick (~200 µm) layers of both 6H-SiC and 3C-SiC polytypes on substrates with off-orientation as low as 1.4 and 2 degrees. The resultant crystal quality of the 3C and the 6H-SiC epilayers, grown under the same process parameters, deteriorates when lowering the off-orientation of the substrate.

sted, utgiver, år, opplag, sider
2011. Vol. 679-680, s. 103-106
Emneord [en]
3C-SiC, 6H-SiC, Geometrical Control, Sublimation Epitaxy
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-73704DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.679-680.103OAI: oai:DiVA.org:liu-73704DiVA, id: diva2:476155
Tilgjengelig fra: 2012-01-11 Laget: 2012-01-11 Sist oppdatert: 2017-12-08bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

fulltext(308 kB)600 nedlastinger
Filinformasjon
Fil FULLTEXT01.pdfFilstørrelse 308 kBChecksum SHA-512
4a56ca3c245d880eabb0c3c2acca3a152bee5cfb56edf50e2cf645a0b635eb59ed7a4e396c888535a71e912a0ff979e04e7adc56d1a23c7fbc7ccaf0bc36dfe5
Type fulltextMimetype application/pdf

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Personposter BETA

Jokubavicius, ValdasLiljedahl, RichardYakimova, RositzaSyväjärvi, Mikael

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Jokubavicius, ValdasLiljedahl, RichardYakimova, RositzaSyväjärvi, Mikael
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Materials Science Forum

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 600 nedlastinger
Antall nedlastinger er summen av alle nedlastinger av alle fulltekster. Det kan for eksempel være tidligere versjoner som er ikke lenger tilgjengelige

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 278 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf