liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Vacuum technology applied to solid state chemical sensors, processing, characterization and applications
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad Fysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0002-2817-3574
2012 (Engelska)Ingår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 86, nr 5, s. 488-494Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

This chapter will review several solid state chemical sensors with focus on the importance of ultra high vacuum, UHV, for the development of this area. Examples of sensors will be given where processing of sensors and sensing layers as well as characterization of chemical sensors takes place in UHV as well as examples of sensors for operation in UHV. Applications of chemical sensors both already commercialized and still on the research level will be given. Sensor technologies will span from metal oxide sensors, field effect transistor sensors to surface plasmon resonance, SPR, sensors and microcalorimeters. Examples of new challenging novel sensor approaches like sensors based on indirect SPR sensing and ultra sensitive graphene-based sensors for NO2 detection will also be given.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2012. Vol. 86, nr 5, s. 488-494
Nyckelord [en]
Solid state sensors, FET sensors, Metal oxide sensors, Surface plasmon resonance, Impedance sensors, Microcalorimeters, Graphene-based sensors
Nationell ämneskategori
Samhällsvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-75727DOI: 10.1016/j.vacuum.2011.08.013ISI: 000300333800002OAI: oai:DiVA.org:liu-75727DiVA, id: diva2:508705
Anmärkning
Funding Agencies|VINN Excellence Center in Research and Innovation on Functional Nanoscale Materials (FunMat) by the Swedish Governmental Agency for Innovation Systems and Industry||The Swedish Research Council|VR 621-2008-3229|Tillgänglig från: 2012-03-09 Skapad: 2012-03-09 Senast uppdaterad: 2017-12-07

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Lloyd Spetz, Anita

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Lloyd Spetz, Anita
Av organisationen
Tillämpad FysikTekniska högskolan
I samma tidskrift
Vacuum
Samhällsvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 192 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf