liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
beta-Ta and alpha-Cr thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering and direct current magnetron sputtering in hydrogen containing plasmas
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Impact Coatings AB, Linkoping, Sweden .
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Physica. B, Condensed matter, ISSN 0921-4526, E-ISSN 1873-2135, Vol. 439, s. 3-8Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Thin films of beta-Ta and alpha-Cr were deposited on Si(1 0 0) and 1000 angstrom SiO2/Si(1 0 0), by high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and direct current magnetron sputtering (dcMS) in hydrogen-containing plasmas. The films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction, scanning electron microscopy, elastic recoil detection analysis, and four-point probe measurements. The results showed that 001-oriented beta-Ta films containing up to similar to 8 at% hydrogen were obtained with HiPIMS, albeit with no chemical shift evident in XPS. The 110 oriented alpha-Cr films display a hydrogen content less than the detection limit of 1 at%, but H-2 favors the growth of high-purity films for both metals. The beta-Ta films deposited with dcMS are columnar, which seems independent of H-2 presence in the plasma, while the films grown by HIPIMS are more fine-grained. The latter type of microstructure was present for the alpha-Cr films and found to be independent on choice of technique or hydrogen in the plasma. The beta-Ta films show a resistivity of similar to 140-180 mu Omega cm, while alpha-Cr films exhibit values around 30 mu Omega cm; the lowest values obtained for films deposited by HiPIMS and with hydrogen in the plasma for both metals.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier , 2014. Vol. 439, s. 3-8
Nyckelord [en]
Hydrides; Thin films; beta-Ta; alpha-Cr; High power impulse magnetron sputtering; Direct current magnetron sputtering
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-105562DOI: 10.1016/j.physb.2013.11.038ISI: 000331620700002OAI: oai:DiVA.org:liu-105562DiVA, id: diva2:708876
Tillgänglig från: 2014-03-31 Skapad: 2014-03-27 Senast uppdaterad: 2017-12-05

Open Access i DiVA

fulltext(787 kB)464 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 787 kBChecksumma SHA-512
2374d064b9cb51509f56de3340b08fc6e80992a954fa53c540ef142dd5a36c5007bf186d22eeed516298dbc83da8f1d088fb0ae3eeaaa65f8b2d053d6eddfc91
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Högberg, HansTengdelius, LinaJensen, JensHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Högberg, HansTengdelius, LinaJensen, JensHultman, Lars
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska högskolan
I samma tidskrift
Physica. B, Condensed matter
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 464 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 451 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf