liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Composition, structure, and dielectric tunability of epitaxial SrTiO3 thin films grown by radio frequency magnetron sputtering
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Plasma och beläggningsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.ORCID-id: 0000-0002-1744-7322
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Visa övriga samt affilieringar
1999 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 17, nr 2, s. 564-570Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Epitaxial (001) oriented SrTiO3 films have been deposited on LaAlO3(001) substrates by off-axis radio frequency magnetron sputtering in Ar:O-2 gas mixtures at substrate temperatures ranging from 650 to 850 degrees C. For the deposition conditions used, stoichiometric targets yielded 20% Sr-deficient films, whereas Sr-enriched targets (Sr1.1TiO0.9O3.0) resulted in stoichiometric films. The Sr-deficient films had a mosaic structure and a larger lattice parameter in comparison to bulk SrTiO3. The stoichiometric films on the other hand had a much higher crystalline quality in the as-deposited condition. The mosaicity of the latter films was primarily limited by the crystalline quality of the LaAlO3 substrates. The lattice parameters of the stoichiometric films were also smaller than the Sr-deficient ones and closer to the bulk value. The dielectric properties of the stoichiometric films were superior to the Sr-deficient films. For films with a thickness of similar to 300 nm, the typical dielectric constants as measured at similar to 77 K and I MHz were determined to be 820 and 500, for the stoichiometric and Sr-deficient films, respectively. Also the capacitance change, as a direct current bias voltage was applied to an interdigital capacitor, was higher for the stoichiometric film, 27.3% as compared to 8.6% when applying a bias of 300 V at 77 K. We also demonstrate the effectiveness of thermal annealing in improving both crystalline quality and dielectric properties, especially for the Sr-deficient films. (C) 1999 American Vacuum Society. [S0734-2101(99)010002-7].

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
American Institute of Physics (AIP), 1999. Vol. 17, nr 2, s. 564-570
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-105975DOI: 10.1116/1.581619OAI: oai:DiVA.org:liu-105975DiVA, id: diva2:712818
Tillgänglig från: 2014-04-16 Skapad: 2014-04-15 Senast uppdaterad: 2017-12-05Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Helmersson, UlfIvanov, IvanMünger, PeterRudner, Staffan

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Helmersson, UlfIvanov, IvanMünger, PeterRudner, Staffan
Av organisationen
Institutionen för fysik, kemi och biologiTekniska högskolanPlasma och beläggningsfysikTunnfilmsfysikTeoretisk Fysik
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 100 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf