liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Defects and energy accommodation in epitaxial sputter deposited Mo/W superlattices studied by molecular dynamics
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Teoretisk Fysik. Linköpings universitet, Tekniska högskolan.
1998 (Engelska)Ingår i: Thin Solid Films, ISSN 0040-6090, E-ISSN 1879-2731, Vol. 317, nr 1-2, s. 10-13Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

We report here the results of a Molecular Dynamics-Embedded Atom Method-investigation of the pathways generating point defects in Mo/W superlattices during bombardment with energetic (50 to 200 eV) Ar and Kr neutrals. Energy accommodation coefficients are computed for the different structures and are found to be roughly independent of the incident energy, and substantially higher for structures with Mo on top. Several different types of defects are shown, and two general processes generating those are discussed. Trapping of the incoming noble gas was observed for the case of Kr impinging on structures with Mo as the top monolayer; this is interpreted as an effect of the small mass difference between the Mo and the Kr atoms. An increase in atomic mass of the gas translates into a more disparate behaviour of the studied structures. The energy exchange with the surface layer dictates the behaviour of the superlattice; this is accentuated when bombarding with the heavier gas, Kr. (C) 1998 Elsevier Science S.A.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Elsevier, 1998. Vol. 317, nr 1-2, s. 10-13
Nyckelord [en]
superlattices; epitaxial sputter; molecular dynamics
Nationell ämneskategori
Naturvetenskap
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-105977DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00653-6ISI: 000074517700004OAI: oai:DiVA.org:liu-105977DiVA, id: diva2:712841
Konferens
5th European Vacuum Conference (EVC-5) / 10th International Conference on Thin Films (ICTF-10), Salamanca, Spain, 23-27 September 1996
Tillgänglig från: 2014-04-16 Skapad: 2014-04-15 Senast uppdaterad: 2017-12-05Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Chirita, ValeriuMünger, Peter

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Chirita, ValeriuMünger, Peter
Av organisationen
Institutionen för fysik, kemi och biologiTekniska högskolanTunnfilmsfysikTeoretisk Fysik
I samma tidskrift
Thin Solid Films
Naturvetenskap

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 92 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf