liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
X-ray photoelectron spectroscopy analyses of the electronic structure of polycrystalline Ti1-xAlxN thin films with 0 < x < 0.96
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)
Visa övriga samt affilieringar
2014 (Engelska)Ingår i: Surface Science Spectra, ISSN 1055-5269, E-ISSN 1520-8575, Vol. 21, s. 35-49Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Metastable Ti1-xAlxN (0 <  x <  0.96) alloy thin films are grown by reactive magnetron sputter deposition using a combination of high-power pulsed magnetron (HIPIMS) and dc magnetron sputtering (DCMS). Layers are deposited from elemental Ti and Al targets onto Si(001) substrates at 500 °C. All Ti1 xAlxN film surfaces are analyzed by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) employing monochromatic Al Ka radiation (hn = 1486.6 eV). Prior to spectra acquisition, TiAlN surfaces are sputter-cleaned in-situ with 4 keV Ar+ ions incident at an angle of 70° with respect to the surface normal. XPS results reveal satellite structures on the high binding energy side of the Ti2p, Ti3s, and Ti3p core-level signals. The intensities of the primary Ti features (Ti2p, Ti3s, and Ti3p) decrease with increasing AlN concentration such that the satellite peaks dominate spectra from films with x < 0.67. The density-of-states at the Fermi level also decrease with increasing x indicating that the satellite peaks are due to screening of core holes created by the photoionization event. Film compositions, obtained using XPS sensitivity factors, agree to within ±3% with values determined by time-of-flight elastic recoil detection analyses.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2014. Vol. 21, s. 35-49
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-118603DOI: 10.1116/11.20140506OAI: oai:DiVA.org:liu-118603DiVA, id: diva2:815872
Tillgänglig från: 2015-06-02 Skapad: 2015-06-02 Senast uppdaterad: 2017-12-04Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(827 kB)375 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 827 kBChecksumma SHA-512
1071cdf69c741de676813b427650e2e92e9fcea9ff092222c7c147796222baf5c9507b39f6b9fcfea4e46321846987e0317607addf80870248aca58ef206a6f4
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Greczynski, GrzegorzJensen, JensGreene, Joseph EPetrov, IvanHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Greczynski, GrzegorzJensen, JensGreene, Joseph EPetrov, IvanHultman, Lars
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Surface Science Spectra
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 375 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 267 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf