liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Sputter-cleaned Epitaxial VxMo(1-x)Ny/MgO(001) Thin Films Analyzed by X-ray Photoelectron Spectroscopy: 2. Single-crystal V0.47Mo0.53N0.92
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)
University of Illinois, Urbana, Illinois, USA.
University of Illinois, Urbana, Illinois.
Visa övriga samt affilieringar
2013 (Engelska)Ingår i: Surface Science Spectra, ISSN 1055-5269, E-ISSN 1520-8575, Vol. 20, s. 74-79Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Epitaxial Vx Mo (1-x)Ny thin films grown by ultrahigh vacuum reactive magnetron sputter deposition on MgO(001) substrates are analyzed by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). This contribution presents analytical results for 300-nm-thick single-crystal V0.47 Mo 0.53N0.92/MgO(001) films deposited by reactive cosputtering from V (99.95% purity) and Mo (99.95% purity) targets. Film growth is carried out in a UHV chamber with base pressure 2 × 10−9 Torr at 700 °C in mixed Ar/N2 atmospheres at a total pressure of 5 mTorr, with a N2 partial pressure of 3.2 mTorr; a bias of −30 V is applied to the substrate. Films composition is determined by Rutherford backscattering spectrometry (RBS). XPS measurements employ monochromatic Al K α radiation (hν = 1486.6 eV) to analyze V0.47 Mo 0.53N0.92(001) surfaces sputter-cleaned in-situ with 4 keV Ar+ ions incident at an angle of 70° with respect to the surface normal. XPS results show that the ion-etched sample surfaces have no measurable oxygen or carbon contamination; film composition, obtained using XPS sensitivity factors, is V0.34 Mo 0.66N0.81. All core level peaks, including the nearby Mo 3p3/2 (binding energy of 394.1 eV) and N 1s (at 397.5 eV) peaks, are well-resolved. Comparison to the V0.48 Mo 0.52N0.64 single-crystal film, submitted separately to Surface Science Spectra, indicates that with decreasing growth temperature from 900 to 700 °C (and increasing nitrogen concentration in Vx Mo (1-x)Ny from y = 0.64 to 0.81) the N 1s core level peak shifts towards lower binding energy by 0.1 eV while all metal atom peaks move in the opposite direction by the same amount.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2013. Vol. 20, s. 74-79
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-118604DOI: 10.1116/11.20130601OAI: oai:DiVA.org:liu-118604DiVA, id: diva2:815875
Tillgänglig från: 2015-06-02 Skapad: 2015-06-02 Senast uppdaterad: 2017-12-04Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(569 kB)236 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 569 kBChecksumma SHA-512
5b3c46d51e8b7fcec4b08d14af982c0be118335d73eeb72bf0ed448b86bf6e8a738623d7bd802f6db9857ef663f6b1cf7486d90dd35a34168f813d6d98d024d9
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Greczynski, GrzegorzKindlund, HannaPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Greczynski, GrzegorzKindlund, HannaPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Surface Science Spectra
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 236 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 457 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf