liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Sputter-cleaned Epitaxial VxMo(1-x)Ny/MgO(001)Thin Films Analyzed by X-ray PhotoelectronSpectroscopy: 3. Polycrystalline V0.49Mo0.51N1.02
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Thin Film Physics)
University of Illinois, Materials Science Department and Frederick Seitz Materials Research.
University of Illinois, Materials Science Department and Frederick Seitz Materials Research.
Visa övriga samt affilieringar
2013 (Engelska)Ingår i: Surface Science Spectra, ISSN 1055-5269, E-ISSN 1520-8575, Vol. 20, s. 80-85Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Vx Mo (1-x)Ny thin films grown by ultrahigh vacuum reactive magnetron sputter deposition on MgO(001) substrates are analyzed by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). This contribution presents analytical results for 300-nm-thick 002-textured polycrystalline V0.49 Mo 0.51N1.02 films deposited by reactive cosputtering from V (99.95 % purity) and Mo (99.95 % purity) targets. Film growth is carried out at 500 °C in mixed Ar/N2 atmospheres at a total pressure of 5 mTorr, with a N2 partial pressure of 3.2 mTorr; a bias of −30 V is applied to the substrate. Films composition is determined by Rutherford backscattering spectrometry (RBS). XPS measurements employ monochromatic Al K α radiation (hν = 1486.6 eV) to analyze V0.49 Mo 0.51N1.02 surface sputter-cleaned in-situ with 4 keV Ar+ ions incident at an angle of 70° with respect to the surface normal. XPS results show that the ion-etched sample surfaces have no measurable oxygen or carbon contamination; film composition, obtained using XPS sensitivity factors, is V0.34 Mo 0.66N1.00. All core level peaks, including the nearby Mo 3p3/2 (binding energy of 394.3 eV) and N 1s (at 397.4 eV) peaks, are well-resolved. Comparison to V0.33 Mo 0.67N0.64 and V0.34 Mo 0.66N0.81 single-crystal film surfaces, submitted separately to Surface Science Spectra, indicates that with decreasing growth temperature from 900 to 700 and 500 °C (and increasing nitrogen concentration in Vx Mo (1-x)Ny from y = 0.64 to 0.81 and 1.00) the N 1s core level peak shifts from 397.6 eV to 397.5 eV to 397.4 eV while metal atom peaks move towards higher binding energy by 0.2-0.4 eV.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2013. Vol. 20, s. 80-85
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-118605DOI: 10.1116/11.20130602OAI: oai:DiVA.org:liu-118605DiVA, id: diva2:815877
Tillgänglig från: 2015-06-02 Skapad: 2015-06-02 Senast uppdaterad: 2017-12-04Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(425 kB)206 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 425 kBChecksumma SHA-512
1ccd4571444a33144bd32d73161469378aec2d2b1250d35b475490ad03e9dfe8c771231c4d1ed70e73c2d6cf2fbd40469df90de2162926a1cc83b0d24bd7fda6
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Greczynski, GrzegorzKindlund, HannaPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Greczynski, GrzegorzKindlund, HannaPetrov, IvanGreene, Joseph EHultman, Lars
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Surface Science Spectra
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 206 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 282 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf