liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Novel hard, tough HfAlSiN multilayers, defined by alternating Si bond structure, deposited using modulated high-flux, low-energy ion irradiation of the growing film
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
US Air Force, OH 45433 USA.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-4898-5115
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Visa övriga samt affilieringar
2015 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 33, nr 5, s. 05E103-1-05E103-9Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Hf1-x-yAlxSiyN (0 less than= x less than= 0.14, 0 less than= y less than= 0.12) single layer and multilayer films are grown on Si(001) at 250 degrees C using ultrahigh vacuum magnetically unbalanced reactive magnetron sputtering from a single Hf0.6Al0.2Si0.2 target in mixed 5%-N-2/Ar atmospheres at a total pressure of 20 mTorr (2.67 Pa). The composition and nanostructure of Hf1-x-yAlxSiyN films are controlled by varying the energy Ei of the ions incident at the film growth surface while maintaining the ion-to-metal flux ratio constant at eight. Switching E-i between 10 and 40 eV allows the growth of Hf0.78Al0.10Si0.12N/Hf0.78Al0.14Si0.08N multilayers with similar layer compositions, but in which the Si bonding state changes from predominantly Si-Si/Si-Hf for films grown with E-i = 10 eV, to primarily Si-N with E-i = 40 eV. Multilayer hardness values, which vary inversely with bilayer period Lambda, range from 20 GPa with Lambda = 20 nm to 27 GPa with Lambda = 2 nm, while fracture toughness increases directly with Lambda. Multilayers with Lambda = 10nm combine relatively high hardness, H similar to 24GPa, with good fracture toughness. (C) 2015 American Vacuum Society.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
A V S AMER INST PHYSICS , 2015. Vol. 33, nr 5, s. 05E103-1-05E103-9
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-121905DOI: 10.1116/1.4920980ISI: 000361229000003OAI: oai:DiVA.org:liu-121905DiVA, id: diva2:860742
Anmärkning

Funding Agencies|U.S. Department of Energy [DE-FG02-07ER46453, DE-FG02-07ER46471]; Swedish Foundation for Strategic Research project Designed Multicomponent Coatings, MultiFil; U.S. Department of Defense Science, Mathematics, and Research for Transformation program; Swedish Government Strategic Research Area Grant (SFO MAT-LiU) on Advanced Functional Materials; Swedish Research Council (VR) [2009-00971]

Tillgänglig från: 2015-10-13 Skapad: 2015-10-12 Senast uppdaterad: 2017-12-01

Open Access i DiVA

fulltext(12662 kB)126 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 12662 kBChecksumma SHA-512
5dd6ab7b686eb68caca1752535821bcc732e468993a11c2424d9b5d689270abe569174e4a3bfee6c2adacb67a626417d6b8ae88ee99f5e3522c0b0111e1ed8ee
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Fager, HannaGreczynski, GrzegorzJensen, JensLu, JunHultman, LarsGreene, Joseph EPetrov, Ivan

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Fager, HannaGreczynski, GrzegorzJensen, JensLu, JunHultman, LarsGreene, Joseph EPetrov, Ivan
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakulteten
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 126 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 421 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf