liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Initial stages of growth and the influence of temperature during chemical vapor deposition of sp(2)-BN films
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Kemi. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0002-7171-5383
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.ORCID-id: 0000-0001-5768-0244
Visa övriga samt affilieringar
2015 (Engelska)Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. 33, nr 6, s. 061520-Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Resurstyp
Text
Abstract [en]

Knowledge of the structural evolution of thin films, starting by the initial stages of growth, is important to control the quality and properties of the film. The authors present a study on the initial stages of growth and the temperature influence on the structural evolution of sp(2) hybridized boron nitride (BN) thin films during chemical vapor deposition (CVD) with triethyl boron and ammonia as precursors. Nucleation of hexagonal BN (h-BN) occurs at 1200 degrees C on alpha-Al2O3 with an AlN buffer layer (AlN/alpha-Al2O3). At 1500 degrees C, h-BN grows with a layer-by-layer growth mode on AlN/alpha-Al2O3 up to similar to 4 nm after which the film structure changes to rhombohedral BN (r-BN). Then, r-BN growth proceeds with a mixed layer-by-layer and island growth mode. h-BN does not grow on 6H-SiC substrates; instead, r-BN nucleates and grows directly with a mixed layer-by-layer and island growth mode. These differences may be caused by differences in substrate surface temperature due to different thermal conductivities of the substrate materials. These results add to the understanding of the growth process of sp(2)-BN employing CVD. (C) 2015 American Vacuum Society.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
A V S AMER INST PHYSICS , 2015. Vol. 33, nr 6, s. 061520-
Nationell ämneskategori
Kemi Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-123831DOI: 10.1116/1.4935155ISI: 000365503800054OAI: oai:DiVA.org:liu-123831DiVA, id: diva2:892865
Anmärkning

Funding Agencies|Swedish Research Council (VR) [621-2013-5585]; Carl Tryggers Stiftelse [12:175]; CeNano Program at Linkoping University; Swedish Government Strategic Research Area in Materials Science on Functional Materials at Linkoping University [SFO-Mat-LiU 2009-00971]; Bolyai Janos research scholarship of Hungarian Academy of Sciences

Tillgänglig från: 2016-01-11 Skapad: 2016-01-11 Senast uppdaterad: 2017-12-01

Open Access i DiVA

fulltext(609 kB)191 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 609 kBChecksumma SHA-512
736fe1e1cf63a17d8b2de92efafd6484a5470f12bf510ff721365dbbfbc8cf1a6489a9b66838a3709c36780666123c5fd8894b72888a53dafa6daf4246d6c83e
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Pedersen, HenrikHögberg, HansHenry, Anne

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Pedersen, HenrikHögberg, HansHenry, Anne
Av organisationen
Institutionen för fysik, kemi och biologiTekniska fakultetenKemiTunnfilmsfysik
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
KemiFysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 191 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 198 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf