liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Detection of Very Fast Interface Traps at 4H-SiC/AlN and 4H-SiC/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Interfaces
University of Iceland.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. (Competence Centre for III-Nitride Technology C3NiT-Janzén)ORCID-id: 0000-0002-0399-8369
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. SweGaN, Linköping, Sweden. (Competence Centre for III-Nitride Technology C3NiT-Janzén)
Griffith University.
Visa övriga samt affilieringar
2024 (Engelska)Ingår i: Solid State Phenomena, ISSN 1012-0394, E-ISSN 1662-9779, Vol. 358, s. 59-64Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Modest channel carrier mobility in SiC-MOSFETs with NO annealed gate oxides has been the main factor hampering development of low power devices (300 – 650 V). A very fast interface trap, noted as NI, has been suggested to be the main culprit for poor inversion channel carrier mobility. The origin of the NI trap is unknown, but it is likely a property of the SiO2 and it is enhanced during post nitridation. In this study we show that the NI trap is also detected in 4H-SiC/AlN and 4H-SiC/Al2O3 MIS-capacitors. Observations are done using conductance spectroscopy and capacitance voltage measurements at cryogenic temperatures. This strongly suggests that the NI trap is a property of the SiC surface and not the dielectric used to form the SiC/dielectric interface. Furthermore, a scanning transmission electron microscopy (STEM) was performed to confirm that there are no SiO2 layers or islands present at the 4H-SiC/AlN and 4H-SiC/Al2O3 interfaces.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
Trans Tech Publications, Ltd. , 2024. Vol. 358, s. 59-64
Nationell ämneskategori
Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-223121DOI: 10.4028/p-8goxkiScopus ID: 2-s2.0-85204926083OAI: oai:DiVA.org:liu-223121DiVA, id: diva2:2054344
Tillgänglig från: 2026-04-20 Skapad: 2026-04-20 Senast uppdaterad: 2026-06-12

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Person

Persson, Axel R.ul-Hassan, JawadDarakchieva, VanyaSveinbjörnsson, Einar

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Persson, Axel R.Chen, J. Taiul-Hassan, JawadDarakchieva, VanyaSveinbjörnsson, Einar
Av organisationen
TunnfilmsfysikTekniska fakultetenInstitutionen för fysik, kemi och biologiHalvledarmaterial
I samma tidskrift
Solid State Phenomena
Den kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 33 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf