liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Growth and characterization of epitaxial wurtzite Al1-xInxN thin films deposited by UHV reactive dual DC magnetron sputtering
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi.
Linköpings universitet, Tekniska högskolan. Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tunnfilmsfysik.ORCID-id: 0000-0002-2837-3656
Visa övriga samt affilieringar
2002 (Engelska)Ingår i: Materials Science Forum, ISSN 0255-5476, E-ISSN 1662-9752, Vol. 433-4, s. 987-990Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Ternary Al1-xInxN thin films were grown by dual target direct current (DC) reactive magnetron sputtering under UHV conditions. The film compositions were determined to range from 0.30

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2002. Vol. 433-4, s. 987-990
Nyckelord [en]
AlN, AllnN, cathodoluminescence, epitaxial growth, HREM, InN, magnetron sputtering, thin films, XRD
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-48568OAI: oai:DiVA.org:liu-48568DiVA, id: diva2:269464
Tillgänglig från: 2009-10-11 Skapad: 2009-10-11 Senast uppdaterad: 2021-12-29

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Person

Seppänen, TimoTungasmita, SukkanesteHultman, LarsBirch, Jens

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Seppänen, TimoTungasmita, SukkanesteHultman, LarsBirch, Jens
Av organisationen
Tekniska högskolanTunnfilmsfysikInstitutionen för fysik, kemi och biologi
I samma tidskrift
Materials Science Forum
Teknik och teknologier

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 275 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf