liu.seSök publikationer i DiVA
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Low Temperature Photoluminescence Investigation of 3-Inch SiC Wafers for Power Device Applications
Université Montpellier 2, Laboratoire Charles Coulomb UMR 5221, F-34095, Montpellier, France.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Halvledarmaterial. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. Groupe d’Etudes des Semiconducteurs, Université Montpellier 2 and CNRS, cc 074‐GES, 34095 Montpellier Cedex 5, France.ORCID-id: 0000-0002-6403-3720
Université Montpellier 2, Laboratoire Charles Coulomb UMR 5221, F-34095, Montpellier, France.
Université Montpellier 2, Laboratoire Charles Coulomb UMR 5221, F-34095, Montpellier, France.
Visa övriga samt affilieringar
2012 (Engelska)Ingår i: HeteroSiC & WASMPE 2011, 2012, Vol. 711, s. 164-168Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Resurstyp
Text
Abstract [en]

Focusing on the change in aluminium-related photoluminescence lines in 4H-SiC versus doping concentration, we have used a combination of LTPL (Low Temperature PhotoLuminescence) and secondary ion mass spectrometry measurements to set new calibration curves. In this way, one can probe the change in aluminum concentration in the range 1017 to 1019 cm-3. When applied to LTPL maps collected on full 3-inch wafers, we show that such abacuses constitute a powerful tool to control efficiently the doping level of as-grown p+ (emitters) and p++ (contact) layers for power device applications.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2012. Vol. 711, s. 164-168
Serie
Materials Science Forum, ISSN 0255-5476
Nyckelord [en]
Hot-Wall CVD, Low Temperature Photoluminescence, Al Doping, 4H-SiC
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik Den kondenserade materiens fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-128853DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.711.164OAI: oai:DiVA.org:liu-128853DiVA, id: diva2:932662
Konferens
HeteroSiC & WASMPE 2011
Tillgänglig från: 2016-06-02 Skapad: 2016-06-02 Senast uppdaterad: 2021-12-29

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Person

Sun, JianwuUl-Hassan, JawadHenry, Anne

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Sun, JianwuUl-Hassan, JawadHenry, Anne
Av organisationen
HalvledarmaterialTekniska fakultetenTunnfilmsfysik
Annan elektroteknik och elektronikDen kondenserade materiens fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 138 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • oxford
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf